CaF? 氟化鈣 248nm 光學(xué)晶體板 完整參數(shù) + 功能特點(diǎn)

一、基本參數(shù)

材質(zhì)：氟化鈣單晶 CaF?，適用波長(zhǎng)248nm

晶體取向：<111> 晶向

外形尺寸：20.0×12.0×12.0 mm 雙面平行平片

尺寸公差：長(zhǎng)寬 / 厚度 0~-0.1mm

表面粗糙度：精磨面 Rq=2μm

防護(hù)倒角：0.5mm 全周倒角

二、核心材質(zhì)特性

紫外深紫外超高透過

氟化鈣是248nm KrF 準(zhǔn)分子激光窗口 / 分光基底材料，248nm 波段透過率，無(wú)吸收、無(wú)熒光、耐紫外輻照老化。

單晶結(jié)構(gòu) <111 取向

光學(xué)均勻性優(yōu)，應(yīng)力極低，激光傳輸無(wú)畸變，適合高能紫外光路。

物理穩(wěn)定性強(qiáng)

熱膨脹系數(shù)小、導(dǎo)熱好，抗激光熱沖擊，不易炸裂；耐高低溫、耐化學(xué)腐蝕。

無(wú)本征雙折射

偏振光路、激光諧振腔、光束整形均可穩(wěn)定使用。

三、結(jié)構(gòu)工藝特點(diǎn)

雙面平行平片（plan-plan）

平行度高，用作激光窗口、隔離片、濾光基片、光路墊板精度達(dá)標(biāo)。

嚴(yán)格負(fù)公差加工

裝配貼合緊密，無(wú)松動(dòng)，適配精密激光腔體卡槽安裝。

Rq 2μm 精磨表面

非拋光、工業(yè)精磨級(jí)，不做高透光拋光，多用于內(nèi)部光路支撐、遮光墊板、結(jié)構(gòu)透光襯板、激光腔體隔離板。

0.5mm 防護(hù)倒角

防止安裝崩邊、磕碰破損，裝機(jī)安全性高。

四、適用場(chǎng)景

KrF 準(zhǔn)分子激光系統(tǒng) 248nm 專用

激光腔體內(nèi)部透光隔板、光路隔離板、氣體腔觀察窗。

深紫外紫外光學(xué)實(shí)驗(yàn)、光刻配套光路

激光設(shè)備內(nèi)部結(jié)構(gòu)透光基板、防塵透光擋片

紫外光譜儀、紫外檢測(cè)設(shè)備光學(xué)基材

高能紫外環(huán)境下替代石英玻璃，抗紫外老化遠(yuǎn)優(yōu)于熔石英

五、使用優(yōu)勢(shì)

248nm 深紫外波段透過性能遠(yuǎn)超普通石英

單晶 < 111 取向光學(xué)一致性好，光路偏移小

精磨面成本低、實(shí)用性強(qiáng)，適合設(shè)備內(nèi)部非成像類透光結(jié)構(gòu)

尺寸規(guī)整易固定，全周倒角適配自動(dòng)化 / 精密設(shè)備裝配